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洁净室的洁净标准一般是如何测试标定的?为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求: 洁净室的测试: (1)各区间的压差正确; (2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。 (1)损坏了的过滤器; (2)过滤器与其外框间的缝隙; (3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。 |
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洁净室的洁净标准一般是如何测试标定的?为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求: 洁净室的测试: (1)各区间的压差正确; (2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。 (1)损坏了的过滤器; (2)过滤器与其外框间的缝隙; (3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。 |